Pirani皮拉尼真空規(guī)背后的故事

——Marcello Pirani：真空測量的英雄

皮拉尼進(jìn)一步從事高溫的光學(xué)測量工作，然后于1919年加入奧斯拉姆，擔(dān)任科學(xué)技術(shù)局局長。在那里，他廣泛研究了從鉭對氣體的吸附到從白熾燈到氣體放電燈的轉(zhuǎn)變等主題。在工業(yè)界任職期間，他曾在柏林的技術(shù)大學(xué)和Technishe Hochschule擔(dān)任過多個(gè)職位。從1936年起，皮拉尼在英國從事各種活動(dòng)，從耐高溫材料到細(xì)煤塵的利用。1953年，他回到德國，為奧斯拉姆咨詢，在他出生的城市去世，享年88歲。

皮拉尼真空傳感器廣泛應(yīng)用于各種真空技術(shù)領(lǐng)域，真空系統(tǒng)用于各種應(yīng)用，包括半導(dǎo)體制造、研究實(shí)驗(yàn)室和真空封裝。熱導(dǎo)率傳感器在低壓環(huán)境中特別有效。包括：

• ?高真空泵的前級壓力測量?：如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)?。
• ?中低真空測量?：如照明、冶金行業(yè)?。
• ?真空連鎖控制?：如高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制?。
• 半導(dǎo)體制造，在半導(dǎo)體制造中，保持高質(zhì)量的真空對于薄膜沉積和蝕刻等工藝至關(guān)重要。熱導(dǎo)真空傳感器可準(zhǔn)確測量真空室中的殘余氣體，確保很佳的生產(chǎn)條件。通過監(jiān)測氣體濃度，制造商可以防止半導(dǎo)體器件中的污染和缺陷。
  
• 科學(xué)研究，在研究實(shí)驗(yàn)室中，熱導(dǎo)率傳感器用于測量需要受控環(huán)境的實(shí)驗(yàn)中的真空度。例如，在涉及高能物理或材料科學(xué)的研究中，準(zhǔn)確的真空條件對于獲得可靠的結(jié)果是必要的。這些傳感器幫助研究人員保持所需的真空度，并監(jiān)測可能影響他們實(shí)驗(yàn)的任何波動(dòng)。
  
• 真空包裝，在食品和包裝行業(yè)，熱導(dǎo)率傳感器用于真空包裝系統(tǒng)，以確保達(dá)到所需的真空水平。通過測量包裝室中氣體的導(dǎo)熱系數(shù)，這些傳感器有助于保持食品的新鮮度和保質(zhì)期。
  

TCD-5880皮拉尼真空規(guī)傳感器

TCD-5880真空傳感器對薄膜中心的熱電堆的熱接點(diǎn)和芯片框架上的冷接點(diǎn)之間的熱阻進(jìn)行測量。這是通過使用加熱器電阻器加熱膜的中心來實(shí)現(xiàn)的。由此產(chǎn)生的中心溫度升高通過熱電堆來測量。實(shí)際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這受到環(huán)境氣體熱阻的影響。TCD-5880真空傳感器安裝在6引腳TO-5上金屬基座上。

TCD-5880皮拉尼真空計(jì)傳感器技術(shù)參數(shù)

@環(huán)境溫度22°C和1 V電源
尺寸：敏感元件尺寸（mm3)：2.50 x 3.33 x 0.3
尺寸：TO-5晶體管基座（mm2)：9Фx 6
針腳長度（mm）：13.5
TO-5重量（g）：0.71
TO-5+帶篩網(wǎng)金屬帽+過濾器的重量（g）：1.05
輸出
在<1 mPa（V/W）的真空中：130
在100 kPa（V/W）的空氣中：30
在10 MPa（V/W）的空氣中：26
在氦氣中，100 kPa（V/W）：7
在氦氣中，10 MPa（V/W）：6.9
時(shí)間常數(shù)
空氣中（ms）：9
在真空中（ms）：36
穩(wěn)定性
短期，1天（ppm）：1
長期，1年（ppm）：100
熱阻
膜（kK/W）：100
膜+空氣（kK/W）23
Max.加熱電壓
空氣中（V）：2.5
真空（V）1