Xensor Integration公司XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件測量周圍混合氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用作Pirani壓力計(jì)（皮拉尼真空計(jì)）來測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導(dǎo)率氣體傳感器芯片由一個(gè)帶有2個(gè)氮化硅膜的硅邊緣組成。XEN-3920敏感元件在每個(gè)膜的中心是一個(gè)加熱器，帶有測量其溫度的傳感器敏感元件，敏感芯片測量環(huán)境和膜中心之間的氣體熱導(dǎo)率。

標(biāo)準(zhǔn)XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件包括一個(gè)帶敏感芯片的TO-5管帽頭、一個(gè)位于敏感芯片上方的頂部（硅蓋）以降低對氣流流動效應(yīng)的敏感性，以及一個(gè)焊接在TO-5外殼上的帶過濾器的金屬篩網(wǎng)。熱導(dǎo)率敏感芯片旁邊是用于環(huán)境溫度測量的Pt100或Pt1000。

Xensor Integration公司XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件特征
?二元和準(zhǔn)二元混合物中氣體的長期穩(wěn)定分析
?高靈敏度和分辨率
?工作溫度：-250°C至150°C
?濕度：0至95%RH，無冷凝
?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進(jìn)行溫度測量
?流量靈敏度可忽略不計(jì)

Xensor Integration公司XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件技術(shù)規(guī)范
環(huán)境溫度：22°C和1 V電源

尺寸
裸模尺寸（mm3）：2.50 x 3.33 x 0.3
尺寸TO-5集管（mm2）：9Фx 6
引腳長度（mm）：14
TO-5重量（g）：0.72
TO-5+蓋子+過濾器的重量（g）：1.05
輸出
在<1 mPa（V/W）的真空中：待定
在100 kPa（V/W）的空氣中：42
在10 MPa（V/W）的空氣中：待定
在氦氣中，100 kPa（V/W）：待定
在氦氣中，10 MPa（V/W）：待定

時(shí)間常數(shù)
空氣中（ms）：9
真空中（ms）：36

短期穩(wěn)定性，1天（ppm）：1
長期，1年（ppm）：300
熱阻
膜（kK/W）：100
膜+空氣（kK/W）：23
Max.加熱電壓
空氣中（V）：2.5
真空（V）：1