荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計傳感器特征工作原理

量熱計芯片由一個薄膜組成，它懸浮在一個厚的硅基框架中。集成加熱器加熱膜的中部區(qū)域分布：傳感器芯片的樣品區(qū)，熱電堆測量樣品區(qū)的溫度。通過這種方式，被測樣品可經(jīng)受預(yù)定溫度分布，以便觀察樣品隨溫度變化的行為。

Xensor Integration公司XEN-393量熱計傳感器技術(shù)參數(shù)比較

XEN-39390：這是一個較小尺寸的樣品面積量熱計芯片，樣品面積約為30x30μm，具有兩個4線加熱器（偏置和保護加熱器）內(nèi)的6對熱電堆。
XEN-39391和XEN-39395：這是一種中等尺寸的樣品面積量熱計芯片，熱點面積約為60x60μm和60x70μm，具有兩個4線加熱器內(nèi)的6對熱電堆。
XEN-39392和XEN-39399 ：這些是較大尺寸的樣品面積量熱計芯片，樣品面積約為100x100μm，具有兩個4線加熱器內(nèi)的6對熱電堆。XEN-39399具有多晶硅覆蓋的樣品區(qū)域，以改善溫度均勻性。
XEN-39397和XEN-39398 ：這些是Max尺寸的樣品面積量熱計芯片。XEN-39398具有雙4線加熱器，樣品面積約為250x250μm，在兩個4線加熱器內(nèi)具有6對熱電堆。樣品區(qū)域被多晶硅覆蓋以改善溫度均勻性。XEN-39397有一個單4線加熱器和一個20對熱電堆，樣品面積為1000x1000μm，鋁覆蓋以改善溫度均勻性。

Xensor Integration公司XEN-393量熱計傳感器芯片典型技術(shù)參數(shù)

環(huán)境溫度22℃，空氣，1013 mbar

                                       XEN-39395      XEN-39390      XEN-39391    XEN-39392      XEN-39399      XEN-39398

一般參數(shù)
輸出（V/W）                      75                  55                   46                40                    23                 23
時間常數(shù)（ms）                 0.7                 0.9                   1.6               2                      3.4                 17

噪聲等效功率（μW）           2                   2                       2                2                       2                   2

加熱速率（MK/s）              1.5                  1                      0.5              0.5                     0.5                0.1

膜+氣體（kK/W）              38                 28                      29               20                      11                3.3
附錄（nJ/K）                     17                  31                      54              100                     300              5100
尺寸
芯片尺寸（mm2）           3.3x2.5          3.3x2.5                3.3x2.5           3.3x2.5            3.3x2.5              5.0x3.3
膜尺寸（mm2）              0.9x0.9          0.9x0.9                 0.9x0.9          0.9x0.9            0.9x0.9             2.4x2.0
膜厚（μm）                   1                     1                          1                  1                     1                       1
樣品面積（μm xμm）      60x70          86x86                   116x116         156x156           296x246              1020x974

荷蘭Xensor公司XEN-393量熱計傳感器芯片應(yīng)用

研究聚合物、藥 物和爆炸材料的熱誘導(dǎo)物理轉(zhuǎn)變和化學(xué)過程，如結(jié)晶和重組。

荷蘭Xensor公司XEN-393量熱計傳感器芯片封裝外形

                     LCC-20nn封裝形式                                    TO-5封裝形式                                              XEN-40014封裝形式